關于OTFC系列

OTFC-1100

OTFC系列(lie)是用于生產紅(hong)外截(jie)止濾光(guang)片(pian)、分(fen)色濾光(guang)片(pian)等成膜(mo)的真(zhen)空鍍膜(mo)裝置。

特征
真空室(shi)尺(chi)寸：Φ600-1800mm
60點/80點式光學膜厚監控
使用(yong)均勻分布的高離子電流(liu)密度的離子源
搭(da)載雙電子槍，多點和環型坩堝可鍍100層以(yi)上
利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程(cheng)
工件架可選擇(ze)鐘(zhong)罩式或行星式
排氣系(xi)統可選擇擴(kuo)散泵+低溫冷(leng)凝(ning)器(POLYCOLD)或冷(leng)凝(ning)泵
規格
設備(bei)名(ming)稱 OTFC-1100CBI/DBI
真空室(shi) SUS304, φ1100mm×1520mm (H)
工件架 φ950mm
工件架轉(zhuan)速 10rpm to 50rpm(可變)
光學(xue)膜厚控(kong)制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀
波長范圍:350nm to 1100nm
反射式/透射式可選
水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸(zheng)發源 電子槍2套
離子源(yuan) 17cmRF離子(zi)源
排氣系統 機械泵+2個擴(kuo)散泵+Polycold（或2個冷凝泵）
性能
達到壓(ya)力 7.0×10-5Pa以下
排氣時間(jian) 15分（大氣壓～1.3×10-3Pa）
基板溫度 最高：350℃
工作條件
設(she)備尺寸 約5000mm(W)×6000mm(D)×3300mm(H)
電源(yuan) 3相,200v,50/60Hz, 約100KVA
水流量 120升/分以上
空(kong)氣壓力 0.5MPa以上
重量 約7200kg