ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是一(yi)種等(deng)離子 ALD 系(xi)統，可在塑料(liao)基板(ban)上進行光(guang)學多層(ceng)沉(chen)積(ji)。
- 特征
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在(zai)整(zheng)個鏡片圓周和 3D 結構上進行(xing)保形沉積
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可以(yi)在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上進行薄膜沉積。
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工作盤成(cheng)膜量大(da) Φ100×75片(pian)
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等離子(zi)工藝可實現低溫沉積
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通過優化原材(cai)料(liao)供(gong)應和等離(li)子體照射(she)縮短沉積時間
