關于OTFC系列

OTFC-1300

OTFC系列是用于生(sheng)產紅外截(jie)止濾光(guang)片(pian)、分(fen)色濾光(guang)片(pian)等(deng)成(cheng)膜(mo)的真空鍍膜(mo)裝置。

特征
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60點/80點式(shi)光學(xue)膜厚監控
使用(yong)均勻分布(bu)的(de)高離(li)子電流密度的(de)離(li)子源
搭(da)載(zai)雙電子槍，多點和環型(xing)坩堝可(ke)鍍100層以上
利用自(zi)動蒸鍍(du)控制系(xi)統實現全自(zi)動蒸鍍(du)過程
工件架可選(xuan)擇鐘罩式或(huo)行星式
排氣系統可(ke)選(xuan)擇擴散(san)泵+低溫冷凝(ning)器(POLYCOLD)或(huo)冷凝(ning)泵
規格
設(she)備名稱 OTFC-1300CBI/DBI
真空(kong)室 SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架 φ1130mm
工件架轉(zhuan)速 10rpm to 50rpm(可變)
光學(xue)膜(mo)厚(hou)控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚計(ji) XTC/3+6點式(shi)水晶傳(chuan)感器
蒸發源 電子槍2套
離子(zi)源 17cmRF離(li)子(zi)源
排(pai)氣系統 機械泵(beng)(beng)+2個擴散泵(beng)(beng)+Polycold（或(huo)2個冷凝泵(beng)(beng)）
達到壓力(li) 7.0×10-5 Pa 以下
排氣時(shi)間 15分(fen)（大(da)氣壓～1.3×10-3 Pa)
基(ji)板溫度 最高：350℃
工作條件
設備尺寸 約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
電(dian)源 3相,200v,50/60Hz, 約104KVA
水(shui)流量(liang) 140升/分以(yi)上
空氣壓力 0.5MPa以(yi)上(shang)
重量(liang) 約8500kg