關于OTFC系列
OTFC-1550
OTFC系列是用于生產紅外截止濾光片(pian)、分色濾光片(pian)等成膜(mo)的真空鍍(du)膜(mo)裝置。
- 特征
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真空室(shi)尺寸(cun)：Φ600-1800mm
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60點(dian)/80點(dian)式光學膜(mo)厚(hou)監控
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使用(yong)均勻(yun)分布的高(gao)離(li)子電流密度(du)的離(li)子源
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搭載(zai)雙(shuang)電(dian)子槍，多點(dian)和環(huan)型坩(gan)堝可(ke)鍍100層以上
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利(li)用自動蒸(zheng)鍍控制系統實現全(quan)自動蒸(zheng)鍍過程
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工件架可(ke)選擇鐘(zhong)罩式或行(xing)星式
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排氣系統可(ke)選擇擴(kuo)散泵(beng)+低溫(wen)冷凝器(POLYCOLD)或(huo)冷凝泵(beng)
- 規格
- 設備名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工件架 φ 790mm
- 工件架轉速 10 rpm to 30 rpm (可變(bian))
- 光(guang)學膜(mo)厚控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀(yi)波長范(fan)圍：350nm to1100nm反射式/透射式可(ke)選
- 水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶(jing)傳感器
- 蒸發源 電(dian)子槍2套
- 離子源 10cm RF 離子源
- 排氣系統 機械泵+1個擴散泵+Polycold（或1個冷凝泵）
- 性能
- 達到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以下
- 排(pai)氣時間(jian) 15 分 (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
- 基板溫度 最(zui)高：350℃
- 工作條件
- 設備(bei)尺寸(cun) 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水流量 180升/分以(yi)上(shang)
- 空(kong)氣壓力 0.5MPa 以上
- 重量 約5400kg
