關于OTFC系列

OTFC-1800

OTFC系(xi)列是用于生產紅外截止濾(lv)光片(pian)(pian)、分色濾(lv)光片(pian)(pian)等成膜的(de)真空鍍膜裝置。

特征
真空室(shi)尺寸(cun)：Φ600-1800mm
60點/80點式光學(xue)膜厚監(jian)控
使用均勻分布的高離子(zi)電流密(mi)度的離子(zi)源(yuan)
搭(da)載雙電子槍(qiang)，多點和環型坩堝(guo)可鍍(du)100層以上
利用自動蒸鍍控制系統實(shi)現全(quan)自動蒸鍍過程
工件架可選擇(ze)鐘罩(zhao)式(shi)或行星式(shi)
排氣系統可(ke)選擇(ze)擴(kuo)散泵+低溫冷(leng)凝(ning)器(POLYCOLD)或冷(leng)凝(ning)泵
規格
設(she)備名稱(cheng) OTFC-1800CBI/DBI
真(zhen)空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工件架 φ1600mm
工件架轉速 10rpm to 30rpm(可變)
光(guang)學膜厚(hou)控制 HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶(jing)振膜厚(hou)計 XTC/3+6點式石英(ying)晶體(ti)傳感器(qi)
蒸發源 電子槍2套
離子源(yuan) 23cmRF離子源
排(pai)氣系(xi)統(tong) 機(ji)械(xie)泵(beng)+2個擴散泵(beng)+Polycold（或(huo)2個冷凝泵(beng)）
性能
達(da)到壓力 7.0×10-5 Pa 以下(xia)
排氣時間 20分（大氣(qi)壓～1.3×10-3 Pa)
基板(ban)溫(wen)度 最高：350℃
工作條件
設備尺寸 約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
電源 3相, 200V, 50/60Hz, 約150kVA
水流(liu)量(liang) 180升/分以(yi)上
空氣(qi)壓力 0.5MPa以上
重量 約11200kg