連續式光學薄膜形成裝置

COFC-1300

COFC-1300是由三(san)個(ge)腔體組(zu)成的連續(xu)式光(guang)學薄(bo)膜(mo)鍍膜(mo)，可不破壞真(zhen)空(kong)的情況下搬運工件，以實現連續(xu)大量生產光(guang)學濾光(guang)片。

特征
無振(zhen)動傘架搬運(yun)系統
中(zhong)心旋(xuan)(xuan)轉系統可提高旋(xuan)(xuan)轉精度并抑(yi)制(zhi)顆(ke)粒產(chan)生
轉速為20rpm，以改善(shan)膜厚控(kong)制能力
12點式高(gao)精度光學測厚(hou)監控儀(yi)
水晶微平衡監控儀（最(zui)多(duo)80個監測點）
裝載射頻離子源以(yi)實現高品質復雜(za)薄膜
自動(dong)傘(san)架(jia)安裝(zhuang)系統（可(ke)選自動(dong)裝(zhuang)載搬(ban)運系統，可(ke)選額外真(zhen)空室）
規格
真空腔(qiang)體(ti)（3腔(qiang)體(ti)式） 上片腔體+蒸鍍腔體+下片腔體
（可選上片/下片式）
真空上片/下(xia)片腔體（2腔體） 304不銹鋼，
約1500mm (長) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
蒸鍍腔體（2個門(men)閥） 304不銹鋼，
約1500mm (長) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
極限真(zhen)空壓力 ≤1.5 × 10-4 Pa
連續(xu)鍍(du)膜的極(ji)限真空時間(jian) ≤5 - 10分(fen)鐘 (7.0 × 10-3 Pa)
基板傘(san)架 直徑1200 mm
旋轉速(su)度 5 - 20 rpm
蒸發源(yuan)（2個(ge)蒸發源(yuan)） 電子槍(qiang)（帶(dai)自動進(jin)料(liao)系統）
射頻離子(zi)源 直(zhi)徑(jing)17cm
工作條件
電源要求 3相(xiang)+G, 200V ± 5％、約140kVA、50/60Hz
冷(leng)卻水流(liu)量(liang) 三個進水口≥200升/分(fen)鐘
重量(liang) 約25000 kg