關于OTFC系列
OTFC-900
OTFC系列是用于(yu)生產(chan)紅外截止(zhi)濾(lv)光片、分色濾(lv)光片等成膜(mo)(mo)的真空鍍膜(mo)(mo)裝(zhuang)置(zhi)。
- 特征
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真空室尺寸(cun)：Φ600-1800mm
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60點/80點式光學(xue)膜厚監控
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使用均勻(yun)分(fen)布的(de)高(gao)離(li)子(zi)電流密度的(de)離(li)子(zi)源(yuan)
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搭載(zai)雙電子槍，多點和(he)環型坩堝可鍍(du)100層以上
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利用自動(dong)蒸鍍(du)控制系統實現全自動(dong)蒸鍍(du)過程
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工件(jian)架可選擇鐘(zhong)罩式(shi)或行星式(shi)
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排氣系統可(ke)選擇(ze)擴散泵+低(di)溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
- 規格
- 設(she)備名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空室(shi) SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工(gong)件(jian)架 φ 790mm
- 工件架轉速 10 rpm to 30 rpm (可變)
- 光(guang)學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xue)膜(mo)厚監控儀波(bo)長范(fan)圍：350nm to1100nm反射式(shi)/透射式(shi)可選
- 水晶式(shi)膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感器
- 蒸(zheng)發源 電子槍2套
- 離子(zi)源 10cm RF 離子源
- 排氣系統(tong) 機械泵+1個擴散(san)泵+Polycold（或1個冷(leng)凝泵）
- 性能
- 達(da)到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以下
- 排氣(qi)時間 15 分(fen) (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
- 基板(ban)溫度 最高：350℃
- 工作條件
- 設備(bei)尺(chi)寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水流量 80升(sheng)/分(fen)以(yi)上(shang)
- 空氣壓(ya)力 0.5MPa 以上
- 重量 約5400kg
