關于OTFC系列
OTFC-900
OTFC系(xi)列是(shi)用于(yu)生(sheng)產紅外截(jie)止(zhi)濾光片、分色(se)濾光片等成膜的真空鍍膜裝置。
- 特征
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真空室尺(chi)寸：Φ600-1800mm
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60點/80點式光學膜厚(hou)監控
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使用(yong)均(jun)勻(yun)分布的高離(li)子電流密度的離(li)子源
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搭(da)載雙電子槍，多(duo)點和環型坩堝可鍍100層以上
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利用自動蒸(zheng)鍍控制系統實(shi)現全自動蒸(zheng)鍍過程
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工件架可選擇鐘(zhong)罩式或行星(xing)式
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排氣系(xi)統可選擇擴散(san)泵(beng)+低(di)溫冷凝(ning)(ning)器(POLYCOLD)或冷凝(ning)(ning)泵(beng)
- 規格
- 設備(bei)名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空(kong)室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工件(jian)架 φ 790mm
- 工件(jian)架轉(zhuan)速 10 rpm to 30 rpm (可變(bian))
- 光學膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xue)膜厚監控儀(yi)波長(chang)范圍：350nm to1100nm反射式(shi)(shi)/透(tou)射式(shi)(shi)可選
- 水晶式膜厚計 XTC/3+6點式水晶傳感(gan)器
- 蒸(zheng)發源 電子槍(qiang)2套(tao)
- 離子(zi)源 10cm RF 離子源(yuan)
- 排氣系(xi)統 機械(xie)泵(beng)+1個擴散泵(beng)+Polycold（或1個冷(leng)凝泵(beng)）
- 性能
- 達(da)到壓力 7.0 × 10-5 Pa 以下
- 排氣時間 15 分(fen) (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
- 基板溫度 最高：350℃
- 工作條件
- 設備尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電源 3相,200v,50/60Hz, 約(yue)80KVA
- 水流量(liang) 80升(sheng)/分以(yi)上
- 空氣壓力 0.5MPa 以上
- 重量 約5400kg
