ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是一種等(deng)離(li)子 ALD 系(xi)統，可在塑料基(ji)板上進行光學多層沉積。
- 特征
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在整個鏡(jing)片(pian)圓周和 3D 結構(gou)上進行保形(xing)沉積(ji)
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可以(yi)在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上進行薄膜沉積。
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工作盤成(cheng)膜量大 Φ100×75片(pian)
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等離子工藝可(ke)實現(xian)低溫沉積
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通過(guo)優化原(yuan)材料(liao)供應和(he)等離子體(ti)照射縮短沉積時間
