特殊規格光學鍍膜機
OTFC-PX
OTFC-PX是搭載了行星回轉機(ji)構與離子源,適用于(yu)多種曲率(lv)面型的透鏡,反光(guang)鏡的光(guang)學(xue)薄膜蒸鍍的光(guang)學(xue)鍍膜機(ji)。
- 特征
- 采用行(xing)星回轉機(ji)構,提高(gao)表面分布情況(kuang)
- 可以改變的基板架(jia)角度,在球面基板上實(shi)現(xian)高(gao)均勻性鍍膜(mo)
- 采用(yong)離子束(shu)輔(fu)助(zhu)蒸鍍(IAD)方(fang)式(shi),提高薄膜(mo)質量
- 光(guang)學式膜(mo)厚監(jian)控,實現高性能(neng)光(guang)學薄膜(mo)的(de)蒸鍍(du)
- 大型真空室(shi)(Ф1800)搭載行星回(hui)轉機構,提高生產能(neng)力(li)