ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是(shi)一(yi)種(zhong)等離(li)子 ALD 系(xi)統，可(ke)在塑料基(ji)板(ban)上(shang)進(jin)行光學多層沉積。
- 特征
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在(zai)整個(ge)鏡片圓周和 3D 結構上(shang)進(jin)行保形沉積
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可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上進行薄膜沉積。
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工(gong)作(zuo)盤成(cheng)膜量(liang)大 Φ100×75片
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等離子工(gong)藝可實現低溫沉積
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通(tong)過優(you)化原材料供(gong)應和等離子體(ti)照射縮短沉積時間
