ALDER
ALDER-800TBS
ALDER-800TBS (A800TBS) 是一種熱(re)模式 ALD 系統，具有大容量負載鎖(suo)定機(ji)制，可實(shi)現(xian)高(gao)通量、高(gao)均勻(yun)性和(he)出色的重現(xian)性。
- 特征
-
專為 LED 等高通量(liang) ALD 應用(yong)而設計(ji)
-
以良好(hao)的再現性實現高度均勻的沉積工藝
-
6 秒以下的快速 ALD 循環(huan)
-
維護(hu)周(zhou)期長
