ALDER

ADLER-1000P

ALDER-1000 實現(xian)了傳統(tong)薄膜沉積方(fang)法無法實現(xian)的光學特(te)性(xing)。可(ke)以形成3D膠片(pian)，相機(ji)鏡頭上的AR膠片(pian)可(ke)以創造出沒有重影和眩光的清晰圖像(xiang)。

特征
可見光(guang)范圍內小于0.1%的(de)超低反(fan)射(she)鍍膜
在(zai)具(ju)有(you)陡峭(qiao)三維結構的(de)表(biao)面上進行保形沉積(ji)
大曲率(lv)透鏡兩側的廣入(ru)射角增(zeng)透膜
低溫等離(li)子(zi)在塑料鏡(jing)片上成膜
通過(guo)同時沉積 40 個 φ350 晶圓(yuan)實現高生(sheng)產率(lv)
實現(xian)逼真(zhen)清晰(xi)的圖像，沒有重影和眩(xuan)光
規格
真空室(shi) W900mm x D900mm x H1150mm
沉(chen)積箱(xiang) W374mm x D700mm x H800mm
轉(zhuan)板架 φ350支架(jia)×40步(bu)，30rpm
等離子源 ICP（電感耦合等離(li)子體）
前(qian)體來源 前(qian)體容器、ALD 閥、前(qian)體（TMA、3DMAS、TiCl4 等）
排氣(qi)系(xi)統(tong) 干泵
性能
極限壓力 真空室：小(xiao)于7Pa
排(pai)氣時間(jian) 真空室：30分鐘（大氣(qi)壓至10Pa）
沉積溫度(du) 最高130℃