光學膜厚監控儀
DHOM-T
直接透過式監控儀
DHOM-T是可直(zhi)接監控成(cheng)膜(mo)(mo)過程中(zhong)旋轉基板上的光學膜(mo)(mo)厚的光學膜(mo)(mo)厚計。 波長帶域為350～1100nm與(yu)350～2400nm。
- 特征
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可(ke)直(zhi)接監控旋轉基板片上的光學膜厚
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旋轉基板上的監控點可(ke)變(鍍(du)膜前調整)
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可(ke)同(tong)時(shi)配備間接控(kong)(kong)制(zhi)儀能實現(xian)各層間控(kong)(kong)制(zhi)方式切換(huan)
- 規格
- 型號 DHOM2-T DHOM4-T
- 波(bo)長帶域 350 ～ 1100nm 350 ～ 2400nm
- 測光方式 透過式
- 光源(yuan) 鹵素燈
- 電源 AC100V ± 10%, 50/60Hz
