光學膜厚監控儀
HOM1-1
高精度光學膜厚監控儀
用于DWDM成膜用真(zhen)空鍍膜系(xi)統的膜厚控制。
- 特征
- 高NA值(zhi)光(guang)學系統和低噪(zao)音電(dian)路設(she)計,實現低噪(zao)音,相對值(zhi)達(da)到 +0.01%
- 應用高分解能分光光學(xue)系(xi),波長分解能達到0.08nm(1550nm)
- 使用鹵素燈(deng)光源,使用波長范(fan)圍(wei)1100nm-1700nm
- 運用(yong)先進的成(cheng)膜(mo)計算控(kong)制技術,光透過(guo)率的極值監(jian)控(kong)能力可達+0.01%
- 規格
- 型號 HOM1-1
- 波(bo)長(chang)帶域 1100nm - 1700nm
- 波長(chang)分解能 0.08nm
- 光亮設定(ding)分解(jie)能 0.001%
- 光源 鹵素燈
- 電源 AC100V±10%, 50/60Hz
- 消費電(dian)力 600VA