離子源

OIS-CDM

OIS-CDM可以測量離(li)子源的(de)離(li)子電流密度，可以通過選擇專用程序自動(dong)進行測量。

規格
電源電壓 交流電 100 V±15 ％
偏置電源（內(nei)部） 0至±60 V / 0.5 A
標準測量(liang)范圍 ±199.99 mA至±1.9999 mA
規管，電纜，導入接頭
標準(zhun)規管(guan) φ30mm（φ8mm，測量平面），10個
掃(sao)描點數 32點
尺寸 480 × 99 × 330 mm