離子源
OIS-ES
電子源
其高電流密度在提高等(deng)(deng)離子(zi)體(ti)密度和防止等(deng)(deng)離子(zi)體(ti)工藝充電方面非常有效。 長時(shi)間的穩定性能，通過(guo)RF激發實現的氧氣工藝污染少，可以(yi)同(tong)時(shi)控制兩個(ge)蒸(zheng)發源。
- Specifications
- 中和器(qi) RFN-3A
- 電流 3000mA
- 最大(da)射頻功率 150W
- 控制(zhi)器 OIS-ESC
- 中和器直流電 OISN-Ⅱ
- 中和器(qi)射頻 AX300Ⅲ (300W)
