離子源
OIS-Three/OIS-Three Plus
RF Ion Source
OIS-Three/ OIS-Three Plus是離子(zi)輔助蒸鍍的RF離子(zi)源，可以均勻照射Ф1600傘架。適(shi)合(he)高速(su)率下的真空蒸著及基板清(qing)潔(jie)。搭載(zai)在OTFC-1800光學鍍膜機上(shang)，適(shi)合(he)于(yu)各種高性能光學濾光片(pian)的大批量生(sheng)產。
- 特征
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新開(kai)發的特殊柵網，壽命長
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同使用燈絲型的離子(zi)源(yuan)相比(bi)，壽命長，污染少
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高離子電流密度和(he)均(jun)勻分布，照(zhao)射面積能(neng)達到Ф1600mm以上
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動作安定(ding)性高，能長時間運轉
- 規格
- 型號 OIS-Three OIS-Three Plus
- 尺寸 φ 390mm × 215mm(H)
- 柵(zha)網尺寸 Ф 23cm(Molybdenum制3枚)
- 離子束電壓 100V～1500V
- 離子束(shu)電流(liu) 1800mA 2400mA
- Acc電(dian)壓 100V～1000V
- RF功(gong)率 2000W
- 氣體流量 20sccm～40sccm（氬氣）40sccm～80sccm（氬氣）
- 使(shi)用壓力 5 × 10-2 Pa
- 水冷方式 RF線(xian)圈(quan)和本(ben)體(ti)
- 中和器規格
- 尺寸 φ 7cm × 12cm
- 發射電(dian)流 2800mA(max)
- RF功率 150W(max）
- 氣體流量 5sccm～10sccm（氬氣）
