關于Gener系列

AS/AR Vacuum Coater

此(ci)真空(kong)鍍膜(mo)機是(shi)鍍制(zhi)防污膜(mo)（AS膜(mo)）及防反射膜(mo)+防污膜(mo)（AS+AS膜(mo)）的大型光學鍍膜(mo)機， 應用于智慧手機等(deng)所配(pei)的觸摸(mo)屏(ping)。

特征
磁密封(feng)驅動的基板旋轉方(fang)式可得到穩定(ding)和均勻的膜厚分布
配備RF離子源以(yi)提高膜的耐摩擦性。（*已通(tong)過4萬次以(yi)上摩擦試(shi)驗*）
* 根據(ju)摩擦試驗的(de)規格，摩擦的(de)次數有所不同(tong)。
防污膜（AS 膜）批量生產。
規格
真空室(shi) Ф2350mm×H 1400mm
基板架 Ф2200 mm，5片(pian)式
基板架(jia)轉速 20rpm
晶振(zhen)式膜厚計 6點式水(shui)晶傳感器
蒸(zheng)發 電(dian)子(zi)槍(qiang)1臺，熱(re)阻蒸(zheng)1臺
離子源 RF離子(zi)源
性能
達到壓力(li) 7.0E-5Pa 以下(xia)
排氣時間 15分以下（大氣壓～2.0×10-3 Pa）
工作條件
設備尺寸 約(yue)6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
水(shui)流(liu)量 220升/分以上
空氣壓力 0.5 - 0.7 MPa
重量 約12000kg