關于Gener系列

Gener-1300

本裝置是(shi)為減(jian)反(fan)射光學薄(bo)膜的大批量(liang)生產而設(she)計制作的光學鍍(du)膜機。

特征
采用了磁流(liu)體密(mi)封(feng)技術的中(zhong)心旋轉式基板架，保證了薄膜(mo)產品的重(zhong)復性與(yu)均勻性
優化的(de)排氣(qi)特性和升(sheng)溫能力使鍍膜時間(jian)縮短
可以加裝(zhuang)用(yong)于對應(ying)高精(jing)度AR鍍膜的多層膜用(yong)可靠的光控(kong)儀(yi) (optional)
規格
真空室 SUS304,Ф1300mm×1500mm(H)
基板架 4片式(shi)工作架（或Ф1200 mm）
基板架轉速 最大30rpm(可調)
晶振式膜厚計 XTC/3+6點式水(shui)晶傳感器
蒸發源 電子槍1臺
性能
極限真空(kong) 7.0 × 10-5 Pa 以下(xia)
抽氣速度 10分（大(da)氣壓～3.0×10-3Pa）
基板最高(gao)加(jia)熱溫度 最高350℃
工作條件
安裝空(kong)間(jian) 約(yue)4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)
電力 3相(xiang)，200V，50/60Hz，約80KVA
水(shui)流量 100升/分以上(shang)
壓(ya)縮空氣壓(ya)力 0.5-0.7MPa
重量 約(yue)5000kg