關于OTFC系列
OTFC-900
OTFC系列是用于生產紅外(wai)截止濾光片、分色濾光片等成膜(mo)的真空(kong)鍍膜(mo)裝置。
- 特征
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真空室尺寸：Φ600-1800mm
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60點/80點式光學膜厚(hou)監(jian)控
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使用(yong)均勻分(fen)布的(de)(de)高(gao)離(li)(li)子電流密度的(de)(de)離(li)(li)子源
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搭載雙電子槍，多(duo)點(dian)和環型坩堝可(ke)鍍(du)100層以上
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利用自動(dong)蒸(zheng)鍍控制系統實(shi)現全自動(dong)蒸(zheng)鍍過程
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工件架可選擇鐘罩式(shi)或行(xing)星式(shi)
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排氣(qi)系(xi)統可選擇擴(kuo)散泵+低溫冷(leng)凝(ning)器(POLYCOLD)或冷(leng)凝(ning)泵
- 規格
- 設(she)備名稱 OTFC-900CBI/DBI
- 真空(kong)室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
- 工(gong)件架(jia) φ 790mm
- 工(gong)件架(jia)轉速 10 rpm to 30 rpm (可變)
- 光學膜(mo)厚(hou)控(kong)制 HOM2-R-VIS350A光學膜(mo)厚監(jian)控(kong)儀(yi)波長范圍(wei)：350nm to1100nm反射式/透射式可選
- 水晶式膜厚計(ji) XTC/3+6點式(shi)水晶傳感器
- 蒸(zheng)發源 電子槍2套
- 離子源 10cm RF 離子源(yuan)
- 排(pai)氣(qi)系統 機械泵+1個擴散(san)泵+Polycold（或1個冷凝泵）
- 性能
- 達到壓力(li) 7.0 × 10-5 Pa 以下
- 排(pai)氣時間 15 分(fen) (大氣壓 1.3×10-3 Pa)
- 基板(ban)溫度 最(zui)高：350℃
- 工作條件
- 設備(bei)尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
- 電源 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA
- 水流量 80升/分(fen)以(yi)上
- 空氣壓(ya)力 0.5MPa 以(yi)上
- 重(zhong)量(liang) 約5400kg
